| 000 | 01914cam a2200397 cc4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 1095836234 | ||
| 003 | DE-627 | ||
| 005 | 20250624174317.0 | ||
| 007 | tu | ||
| 008 | 911002s1991 xx ||||| 00| ||eng c | ||
| 020 |
_a3540936300 _93-540-93630-0 |
||
| 020 |
_a0387936300 _90-387-93630-0 |
||
| 035 | _a(DE-D210)CP000000908 | ||
| 035 | _a(DE-576)025836234 | ||
| 035 | _a(DE-627)1095836234 | ||
| 035 | _a(DE-599)BSZ025836234 | ||
| 035 | _a(OCoLC)311398597 | ||
| 040 |
_aDE-627 _bger _cDE-627 _erakwb |
||
| 041 | _aeng | ||
| 076 | b | _aod | |
| 084 |
_aVA 1097 _2rvk _0(DE-625)rvk/146969: |
||
| 245 | 0 | 0 |
_aGmelin handbook of inorganic and organometallic chemistry _pSi, Silicon _bsystem number 15 _nSuppl.Vol. B5c _pSilicon nitride in microelectronics and solar cells / authors: Chapters 1 to 31 in coop. with Eberhard F. Krimmel ... _cprep. and iss. by Gmelin-Institut für Anorganische Chemie der Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften. Director: Ekkehard Fluck. Founded by Leopold Gmelin ... |
| 246 | 1 |
_iNebent. _aSilicon nitride in electronics |
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| 250 | _a8. ed. | ||
| 264 | 1 |
_aBerlin _aHeidelberg [u.a.] _bSpringer _c1991 |
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| 300 |
_aXV, 400 S. _bgraph. Darst. |
||
| 336 |
_aText _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aohne Hilfsmittel zu benutzen _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_aBand _bnc _2rdacarrier |
||
| 583 | 1 |
_aArchivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet _fPEBW _2pdager _5DE-31 |
|
| 700 | 1 |
_aKrimmel, Eberhard F. _4oth |
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| 773 | 1 | 8 |
_w(DE-627)1092150544 _w(DE-576)022150544 _gSi, Silicon ; Suppl.Vol. B5c _qsi,supp,b5c _7nnam |
| 936 | r | v |
_aVA 1097 _bGmelin Handbuch der Anorganischen Chemie insgesamt, Allgemeines _kChemie und Pharmazie _kReferateorgane, Zeitschriften, Handbücher _kGmelin Handbuch der Anorganischen Chemie _kGmelin Handbuch der Anorganischen Chemie insgesamt, Allgemeines _0(DE-627)1271895854 _0(DE-625)rvk/146969: _0(DE-576)201895854 |
| 942 | _cBK | ||
| 951 | _aMV | ||
| 999 |
_c869 _d869 |
||