TY  - BOOK
AU  - Harris,Nigel S.
TI  - Modern vacuum practice
SN  - 0955150116
AV  - TJ940 
U1  - 621.55 
PY  - 2007///
CY  - Glasgow
PB  - Nigel S. Harris
KW  - Vacuum technology
N1  - Literaturverz. S. 430 - 438
ER  -