Werkstoffe der Halbleitertechnik hrsg. von Hans-Friedrich Hadamovsky - 368 S. Ill., zahlr. graph. Darst. Literaturverz. S. 331 - 344. - Mit 292 Bildern u. 63 Tab Nat. Bib. No.: 85,A40,0576 dnb Nat. Bib. Agency Control No.: 850798558 DE-101 Dewey Class. No.: 621.38152